FC-280SAV MYKROLIS 質(zhì)量流量控制器

　　型號：FC-280SAV

　　品牌：MYKROLIS

　　零件號：FC-280SAV

　　制造商:MYKROLIS

　　產(chǎn)品描述

　　質(zhì)量流量計，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）,是一種測量氣體流量的儀

　　表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補償。

　　質(zhì)量流量控制器,即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）,不但具有質(zhì)量流量計的

　　功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定，MFC

　　自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏

　　離設(shè)定值。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置,是一個可以手動設(shè)定或與計算

　　機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。