SEC-4400 STEC 流量控制器

　　型號：SEC-4400

　　品牌：STEC

　　Horiba/Stec SEC-4400MC質(zhì)量流量控制器

　　制造商:堀場/Stec

　　模型:SEC-4400MC

　　產(chǎn)品系列:SEC-4400、SEC-4500、SEC-4550、SEC-4600、SEC-4400SP、SEC-4400SR、SEC-4400MF、SEC-4500MF

　　產(chǎn)品描述

　　配置：

　　?密封件：金屬

　　?所需的正常閥門狀態(tài)：關閉

　　?流速：2 SLM

　　?氣體類型：O 2

　　特征：

　　響應速度：小于1秒

　　重復性：±0.2%FS

　　大工作壓力：300kPa(G)

　　合格氣體：C 2 F 6、C 3 F 8、C 4 F 8、SF 6、SiF 4等。

　　自動關閉功能

　　Horiba/Stec SEC-4400系列質(zhì)量流量控制器的響應速度小于1秒，重復精度為±0.2%FS這些控制器的大工作壓力為300kPa(G)，可以使用以下氣體：C 2 F 6,C 3 F 8,C 4 F 8,SF 6,SiF 4等。這些控制器具有自動關閉功能。